1 如果伺服電機可以上電，可以通過報警代碼的提示進行故障的診斷、排除。常見故障有參數設定有問題；接線有問題；電機選型有問題（負載不匹配）。
2 先從外觀檢查，看驅動器和電機是否有損壞；聞一下是否有燒過的異味；晃動一下驅動器或電機看是否有雜物的響動。有就拆開，直接就可以判斷出故障。
3 如果伺服電機無法上電，那么可以通過測量供電電源，直流母線，U、V、W三相電機輸出線之間的電阻關系；判斷出是否是整流部分或IGBT逆變部分損壞。具體操作如下：把萬用表打到測量二極管的檔位，把負極表筆接到直流母線的正極，正極表筆分別接觸供電電源L1、L2、L3接線端子，電機輸出U、V、W接線端子。再把萬用表的正表筆接到直流母線的負極，用負極表筆接觸L1、L2、L3和U、V、W接線端子，按上面提到的方法進一步判斷整流橋和IGBT是否有故障。具體測量原理可以參照電氣的原理圖。伺服電機廠家如果L1、L2、L3和母線之間電阻值為零或無窮大，就說明整流橋被擊穿或燒斷路了。如果電機輸出U、V、W接線端子和直流母線之間電阻為零或無窮大，就說明IGBT被擊穿或燒斷路了。
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